運輸行業的發展推動著汽車行業的發展,現在每年的汽車需求量都在逐漸增多,人們對汽車安全性和舒適性方面也提出了更高的要求。傳感器作為行使中汽車各項參數的檢測單元,其重要性可想而知。汽車工業的發展推動著汽車傳感器的向前發展,未來的汽車傳感器技術的發展趨勢是微型化、多功能化、集成化和智能化。微型化是指傳感器要具有體積小,成本低;多功能化是指一個傳感器能檢測2個或者兩個以上的特性參數或者化學參數,從而減少汽車傳感器數量,提高系統可靠性;集成化是指利用IC制造技術和精細加工技術制作IC式傳感器;智能化是指傳感器與大規模集成電路相結合,帶有CPU,具有智能作用,以減少ECU的復雜程度,減少其體積,并降低成本。
20世紀末期,設計技術、材料技術,特別是Mems技術的發展使微型傳感器提高到了一個新的水平,利用微電子機械加工技術將微米級的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在同一芯片上,它具有體積小、價格便宜、可靠性高等特點,并且可以明顯提高系統測試精度。目前采用Mems技術可以制作檢測力學量、磁學量、熱學量、化學量和生物量的微型傳感器。由于Mems微型傳感器在降低汽車電子系統成本及提高其性能方面的優勢,它們已開始逐步取代基于傳統機電技術的傳感器。Mems傳感器將成為世界汽車電子的重要構成部分。
汽車傳感器和電子系統向著采用Mems傳感器的方向發展。Mems傳感器成本低、可靠性好、尺寸小,可以集成在新的系統中,工作時間達到幾百萬個小時。Mems器件最早的是絕壓傳感器(Map)和氣囊加速度傳感器。目前,正在研發和小批量生產的MEMS/MST產品有:輪速旋轉傳感器, 胎壓傳感器, 制冷壓力傳感器, 發動機油壓傳感器, 剎車壓力傳感器和偏離速率傳感器等等。 在今后的5-7年Mems器件將大量應用到汽車系統中。
隨著微電子技術的發展和電子控制系統在汽車上的應用迅速增加,汽車傳感器市場需求將保持高速增長,以Mems技術為基礎的微型化、多功能化、集成化和智能化的傳感器將逐步取代傳統的傳感器,成為汽車傳感器的主流。
21世紀初期,敏感元件與傳感器發展的總趨勢是小型化、集成化、多功能化、智能化、系統化。傳感器領域的主要技術將在現有基礎上予以延伸和提高,并加速新一代傳感器的開發和產業化。
微機械加工技術和微米/納米技術的高速發展,將成為21世紀傳感器領域中帶有革命變化的高新技術。采用微機械加工技術制作的MEMS產品,具有劃時代的微小體積、低成本、高可靠等獨特的優點,預計由微傳感器、微執行器以及信號和數據處理裝置總裝集成的微系統將進入商業市場。
隨著新型敏感材料的加速開發,微電子、光電子、生物化學、信息處理等各學科、各種新技術的互相滲透和綜合利用,可望研制出一批新穎、先進的傳感器。硅壓力傳感器的研究、生產和應用將成為主流,半導體工業將更加有力地帶動傳感器的設計手日工藝制造技術;而微處理器和計算機將進一步帶動新一代智能傳感器和網絡傳感器的數據管理和采集。
敏感元件與傳感器的更新換代周期將越來越短,其應用領域將得到拓展,二次傳感器和傳感器系統的應用將大幅度增長,廉價傳感器的比例將增大,必將促進世界傳感器市場的迅速發展。
高科技在傳感技術中的應用比例更加增大。傳感技術涉及多學科的交叉,它的設計需要多學科綜合理論分析,常規方法已難于滿足,CAD技術將得到廣泛應用。如:國外在90年代初就研究出了用于硅壓力傳感器設計的MEMS CAD軟件,大型有限元分析軟件ANSYS,包含了力、熱、聲、流體、電、磁等分析模塊,在MEMS器件的設計和模擬方面取得了成功。
傳感器產業將進一步向著生產規?;?、專業化和自動化方向發展。工業化大生產的平面工藝技術將是促進傳感器價格大幅度降低的主要動力。而傳感器制造的后工序一一封裝工藝和測試標定(兩者的費用約占產品總成本的50%以上)的自動化,將成為關鍵生產工藝予以突破。